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設備廠商加速卡位MicroLED賽道

    作者:宏拓新軟件
    發布日期:2025-05-19         
閱讀:7     
 
 

2025年,Micro LED技術在多個關鍵環節取得進展,新技術突破、新合作達成、新應用拓展以及新項目落地頻頻涌現,同時設備廠商正積極克服Micro LED產業化面臨的技術瓶頸,為后端廠商提供關鍵的生產工具,推動Micro LED技術的發展和應用。

設備廠商進展頻出,關鍵技術持續突破

Micro LED產業化面臨的關鍵技術難題之一便是晶圓檢測。當前,Micro LED晶圓檢測技術主要包括三類:探針式電致發光檢測(EL)、AOI外觀缺陷檢測和光致發光檢測(PL)。然而,這幾種方法在Micro LED大規模產業化方面均面臨各自的挑戰。

為解決Micro LED行業共性檢測技術問題,海目星于5月12日宣布,公司攜手福州大學成功研制出國內首款晶圓級Micro LED芯片非接觸電致發光檢測工程樣機FED-NCEL。基于該樣機的研發成果,可對紅、綠、藍Micro LED外延片、晶圓(COW)以及轉移到臨時載板的芯片(COC)進行無接觸電致發光檢測。

海目星

圖片來源:海目星

在新型顯示設備領域,海目星曾于2024年出貨一條Micro LED中試線,該產線包含Micro LED巨量轉移、巨量焊接、激光修復等設備,并已完成廠內FAT驗收。據介紹,該產線效率可達25-100kk/h,制程良率達到99.99%以上,支持≤50μm的Micro LED芯片應用。

在巨量檢測領域,壹倍科技同樣表現活躍。今年1月7日,壹倍科技宣布完成2024年度的最后一批Micro LED巨量檢測設備交付,達成全年交付目標。此次交付的產品涵蓋了針對COW/COC工藝的PL檢測設備M1070P以及用于外觀與位置檢測的AOI設備M1075A。

Micro LED設備

圖片來源:壹倍科技

在2024年的8月和11月,壹倍科技已分別向中國大陸和臺灣地區的客戶成功交付了自主研發的AOI與PL巨量檢測設備。公司表示,隨著中試線和量產線陸續點亮,Micro LED正從研發邁向小批量量產,2025年將是產能與良率提升的關鍵期。

除了檢測設備,成膜設備、鍵合設備等Micro LED制造過程中的核心工藝設備,對于推動Micro LED的產業化同樣至關重要。

2024年3月11日,智芯達在該領域帶來好消息,成功下線首臺巨量轉移側邊磁控濺射成膜機。該設備采用3D磁控濺射與低溫低損技術,并通過優化靶材等技術,有效提升了成膜的穩定性和附著力,降低了熱損傷,是實現Micro LED無縫拼接的關鍵設備。

無獨有偶,同日,青禾晶元在香港發布了C2W&W2W雙模式混合鍵合設備SAB 82CWW系列。這款設備支持8英寸和12英寸晶圓,具備±30nm的對準精度和±100nm的鍵合精度,應用領域廣泛,不僅適用于Micro LED,還涵蓋存儲器、圖像傳感器等領域。

此外,激光技術企業也在Micro LED相關設備方面有所交付。2024年1月1日,英諾激光向新客戶交付了Micro LED相關設備,包括激光去晶和激光切割設備。激光去晶是Micro LED工藝中的一個環節,用于去除芯片或雜質,激光切割則用于材料的分切。

英諾激光

圖片來源:英諾激光

除了上文提及的企業,自2024年以來,邁為股份、大族半導體、合肥欣奕華、精智達、勁拓股份、聯得設備、中微公司、德龍激光等眾多設備廠商,在Micro LED相關設備和技術研發方面也取得新成果,這些進展有助于提升Micro LED制造工藝的良率和生產效率。

融資潮涌動,Micro LED乘“資”而上

設備廠商在Micro LED巨量檢測、轉移、鍵合等關鍵工藝設備領域持續取得突破,正成為推動Micro LED技術由研發走向產業化的重要力量。與此同時,資本市場的積極響應,也從側面體現了產業發展的熱度與潛力。

智能制造企業福拉特深耕Micro LED等領域,專注于高端濕法、研磨、檢測及相關工藝設備的研發與生產。今年4月,公司宣布完成數千萬元Pre-A輪融資,資金將用于加快濕法清洗設備的國產化進程,助力大規模量產交付。

另據深交所官網,Micro LED設備廠矽電股份已于1月13日提交創業板IPO注冊申請。此次募資約5.56億元,資金將用于探針臺研發及產業基地建設、分選機技術研發、營銷服務網絡升級以及補充流動資金。

值得注意的是,除設備廠商外,今年以來,Micro LED產業鏈上的多家企業也相繼獲得資本加持,包括諾視科技、巽霖科技、普照材料、瑞典Polar Light Technologies、Hyperlume以及加拿大VueReal,顯示出行業上下游對Micro LED商業化前景的看好。

Micro LED融資

國內市場方面,諾視科技于3月5日完成了A輪融資。近年來,諾視科技先后完成天使輪、戰略投資、Pre-A輪等融資。其中,2024年3月的Pre-A2輪融資達億元,資金用于Micro LED微顯示芯片量產線建設,以及其基于VSP技術方案Micro LED芯片的進一步研發。

此外,巽霖科技也于3月完成了數千萬元的Pre-A輪融資,該公司憑借制造1350×1050mm大尺寸高銅厚面板的能力,已成功實現小間距高清高亮的大尺寸全透明玻璃屏幕應用,并通過精細線路設計提升了Mini/Micro LED產品的可操作性并降低成本。

在材料端,普照材料于2月宣布完成7.4億元B輪融資,該公司已建有多條濺射勻膠鉻版生產線,并啟動了旨在滿足LTPS、LTPO、AMOLED、Micro LED等多種平板顯示掩模基板需求的產業園項目。

在海外市場,Micro LED相關技術企業同樣獲得了資本青睞。

專注于Micro LED光互連領域的Hyperlume公司,于2月21日完成了1250萬美元(約合人民幣9062.2萬元)的種子輪融資,該公司致力于開發一種采用超高速Micro LED作為光源、適用于AI算力集群機架內短距離通信的低成本芯片間光互連技術。

加拿大Micro LED技術開發商VueReal于1月30日宣布完成4050萬美元(當時約合人民幣2.90億元)的C輪融資,該公司的核心技術MicroSolid Printing通過高效的巨量轉移工藝,旨在實現高產量、低缺陷率和高性能的Micro LED顯示器生產。

小結

綜合來看,Micro LED產業正處于加速產業化的關鍵階段。在制造設備方面,廠商在巨量檢測、轉移與鍵合等核心工藝技術上取得積極進展。同時,資本市場對Micro LED領域持續關注,相關企業獲得多輪融資支持,為產業發展注入動能。

在應用前景方面,TrendForce集邦咨詢分析師指出,車用與近眼顯示是玻璃基與硅基Micro LED接下來瞄準的應用賽道,前者預計在2028年可以為芯片挹注超過1億美金的產值,后者中長期預估在所有AR眼鏡中的搭載滲透率上看50%,展現出廣闊的市場潛力。(文:LEDinside Mia)

 

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